Verfahren zur Detektion der Bestrahlungsverteilung in einer Vorrichtung mit extremer Ultraviolettlichtquellen und Vorrichtung zur Bestrahlungsverteilung für eine extreme Ultraviolettlichtquelle
EP2453218
Art A1
16. Mai 2012
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha, Ushiodenki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2453218
- Aktenzeichen
- EP11008450
- Anmeldetag
- 20. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J1/06G01J1/42G01J1/58G02B27/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Ushiodenki Kabushiki Kaisha - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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