Diffraktive optische nano-elektromechanische Vorrichtung mit reduzierter Antriebsspannung

EP2453289 Art B1 4. November 2015

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2453289
Aktenzeichen
EP11189299
Anmeldetag
16. November 2011
Veröffentlichung
4. November 2015
Erteilung
4. November 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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