Palette für die Hochtemperaturverarbeitung

EP2453472 Art A1 16. Mai 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2453472
Aktenzeichen
EP10191347
Anmeldetag
16. November 2010
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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