Substratspeicherbehälter

EP2453473 Art A1 16. Mai 2012

Anmelder: Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2453473
Aktenzeichen
EP10797040
Anmeldetag
28. Juni 2010
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673G03F1/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Polymer

Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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