Lösungen für Stromlose Abscheidung und Prozesssteuerung
EP2454397
Art A1
23. Mai 2012
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2454397
- Aktenzeichen
- EP09847439
- Anmeldetag
- 16. Juli 2009
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25D21/12H01L21/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte