Stromanalysegerät für Geladene Partikel

EP2454749 Art A2 23. Mai 2012

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2454749
Aktenzeichen
EP10800621
Anmeldetag
16. Juli 2010
Veröffentlichung
23. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28H01J37/244H01J37/05
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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