Verfahren zur Trocknung eines Halbleiterwafers
EP2454750
Art A2
23. Mai 2012
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2454750
- Aktenzeichen
- EP10799511
- Anmeldetag
- 1. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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