Verfahren zur Herstellung einer temporären Kappe auf einem MEMS-Bauteil
EP2455332
Art B1
12. Februar 2014
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2455332
- Aktenzeichen
- EP10191819
- Anmeldetag
- 19. November 2010
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2014
- Erteilung
- 12. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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