Pellikel für Lithographie
EP2455809
Art A3
5. September 2012
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2455809
- Aktenzeichen
- EP11358012
- Anmeldetag
- 15. November 2011
- Veröffentlichung
- 5. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F1/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Marek, Pierre
Marseille, Frankreich
162
Patente gesamt
27
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte