Sulfoniumsalzhaltiges Polymer, Resistzusammensetzung, Strukturierungsverfahren und Sulfoniumsalzmonomer sowie Herstellungsverfahren
EP2455811
Art B1
13. Januar 2016
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2455811
- Aktenzeichen
- EP11187377
- Anmeldetag
- 1. November 2011
- Veröffentlichung
- 13. Januar 2016
- Erteilung
- 13. Januar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039G03F7/20C07C303/32C07C309/12C07C381/12C08F20/38C08F220/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Stoner, Gerard Patrick
London, Großbritannien
1.364
Patente gesamt
33
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte