System und Verfahren zur Plasmalichtbogenerkennung, Isolierung und Vorbeugung
EP2457420
Art A2
30. Mai 2012
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2457420
- Aktenzeichen
- EP10802684
- Anmeldetag
- 16. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01L21/3065H01J37/32H02H9/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte