Beleuchtungssystem einer mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2458425
Art B1
11. September 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2458425
- Aktenzeichen
- EP12156900
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 11. September 2013
- Erteilung
- 11. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/28G03F7/20// G02B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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