Zusammensetzungen und Verfahren zur Strukturierung von Siliziumwafern

EP2458622 Art A3 22. Mai 2013

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2458622
Aktenzeichen: EP11190545
Anmeldetag: 24. November 2011
Veröffentlichung: 22. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L31/18H01L31/0236

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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