Substratverarbeitungssystem, Substrathalter, Substrathalterpaar, Substratverbindungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung Dieser Vorrichtung

EP2458629 Art B1 15. Mai 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2458629
Aktenzeichen: EP10802081
Anmeldetag: 21. Juli 2010
Veröffentlichung: 15. Mai 2019
Erteilung: 15. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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