Strahlendetektor, Verfahren zur Herstellung eines Strahlendetektors und lithografische Vorrichtung mit einem Strahlendetektor

EP2458650 Art A3 14. Dezember 2016

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2458650
Aktenzeichen: EP12156340
Anmeldetag: 18. Juni 2008
Veröffentlichung: 14. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/103H01L31/0224H01L31/0216H01L31/0288H01L31/118H01L31/18G03F7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands BV
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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