Entzündungsschutz in Elektrostatischen Chucks
EP2460179
Art A2
6. Juni 2012
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2460179
- Aktenzeichen
- EP10804865
- Anmeldetag
- 29. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687B23Q3/15H02N13/00H01L21/683C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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