Teilchenstrahlgerät mit Ablenksystem
EP2461346
Art B1
2. Mai 2018
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss Microscopy Limited, Carl Zeiss NTS Ltd., Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2461346
- Aktenzeichen
- EP11191531
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2018
- Erteilung
- 2. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss Microscopy Limited
Carl Zeiss NTS Ltd.
Carl Zeiss NTS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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