Verwendung einer Zusammensetzung zur Bildung einer Untergelegten Resistschicht für die Nanodruck-Lithographie

EP2461350 Art B1 28. Februar 2018

Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2461350
Aktenzeichen: EP10804376
Anmeldetag: 26. Juli 2010
Veröffentlichung: 28. Februar 2018
Erteilung: 28. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027C08G59/20C08G77/04C08G77/14G03F7/20G03F7/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von