Spektralfilter, Lithographievorrichtung mit einem Solchen Spektralfilter, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und in Diesem Verfahren Hergestellte Vorrichtung

EP2462593 Art A1 13. Juni 2012

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2462593
Aktenzeichen
EP08834507
Anmeldetag
26. September 2008
Veröffentlichung
13. Juni 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G21K1/10G21K1/06G03F7/20G02B5/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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