Formierung von Siliciumoxid in Kohlenstofffreien Abscheidungsverfahren für Fliessfähige Gase
EP2462612
Art A2
13. Juni 2012
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2462612
- Aktenzeichen
- EP10807217
- Anmeldetag
- 6. August 2010
- Veröffentlichung
- 13. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/205C23C16/40C23C16/56C23C16/452H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kraushaar, Marc Oliver
München, Deutschland
14
Patente gesamt
12
Fachgebiete
3
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