Mikrospiegelanordnung mit Beschichtung sowie Verfahren zu deren Herstellung

EP2463693 Art A3 20. Februar 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2463693
Aktenzeichen: EP12152649
Anmeldetag: 1. April 2010
Veröffentlichung: 20. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/22G02B26/08G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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