Oberflächenpositionserkennungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP2463716 Art B8 20. Mai 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2463716
Aktenzeichen: EP12150443
Anmeldetag: 28. Juni 2006
Veröffentlichung: 20. Mai 2015
Erteilung: 20. Mai 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B11/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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