Herstellungsverfahren eines Schallwellenresonators, der eine aufgehängte Membran umfasst
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2464006
- Aktenzeichen
- EP11191911
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2018
- Erteilung
- 30. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H03H3/02H03H9/17
Abstract
The method involves forming a stack comprising a fine piezoelectric material layer (Cpiezo) at a surface of a substrate and forming another stack comprising another substrate (S2). A non bonding initiation zone is formed by deposit or creation of controlled sized particles leaving a surface of one of the stacks locally provided with nanostructures projecting before a subsequent bonding step. Direct bonding of the stacks is performed to create a blister (CAV) between the stacks due to the presence of the non bonding initiation zone. The stacks are thinned out for eliminating the substrate.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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