Optische Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2466272

Aktenzeichen

EP11191913

Anmeldetag

5. Dezember 2011

Veröffentlichung

1. August 2018

Erteilung

1. August 2018

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/38G01D5/347

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition eines Maßstabs und einer Abtastplatte, die relativ zueinander entlang mindestens einer Messrichtung beweglich angeordnet sind. Ein von einer Lichtquelle emittiertes Strahlenbündel erfährt durch ein erstes Gitter eine Aufspaltung in mindestens zwei Teilstrahlenbündel, deren Polarisationszustände orthogonal zueinander orientierbar sind. Die Teilstrahlenbündel erfahren eine Wiedervereinigung zu einem resultierenden Strahlenbündel, wobei aus dem resultierenden Strahlenbündel in einer Detektionseinheit mehrere verschiebungsabhängige Abtastsignale erzeugbar sind. In den Strahlengängen der Teilstrahlenbündel sind Polarisationsmittel angeordnet, deren Polarisationswirkungen auf die darauf einfallenden Teilstrahlenbündel entlang von Bewegungsfreiheitsgraden des Maßstabs periodisch mit einer Polarisationsperiode veränderlich sind, wobei die Polarisationsperiode der Polarisationsmittel größer als die Teilungsperiode des ersten Gitters ist (Fig. 5b).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete