Vorrichtung zur Herstellung eines Dünnfilmbeschichteten Körpers

EP2466646 Art A1 20. Juni 2012

Anmelder: Fuji Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2466646
Aktenzeichen: EP10839136
Anmeldetag: 29. November 2010
Veröffentlichung: 20. Juni 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fuji Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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