Reflektierendes Optisches Element und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP2467741 Art B1 27. Mai 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands BV 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2467741
Aktenzeichen: EP10752519
Anmeldetag: 20. August 2010
Veröffentlichung: 27. Mai 2015
Erteilung: 27. Mai 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/10G03F7/20G21K1/06G02B5/08B82Y10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands BV
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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