TIO2-Haltiges Quarzglas und Optisches Element für die Euv-Lithografie damit

EP2468692 Art A1 27. Juni 2012

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2468692
Aktenzeichen: EP10809950
Anmeldetag: 16. August 2010
Veröffentlichung: 27. Juni 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C03C3/06H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von