Verfahren zum Abscheiden dielektrischer Schichten im Vakuum sowie Verwendung des Verfahrens

EP2468915 Art B1 19. Juni 2013

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Technische Universität Dresden 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2468915
Aktenzeichen: EP11009085
Anmeldetag: 16. November 2011
Veröffentlichung: 19. Juni 2013
Erteilung: 19. Juni 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/35C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Technische Universität Dresden
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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🇩🇪 Technische Universität Dresden

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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