Zusammensetzung zur Bildung eines Resist-Unterbeschichtungsfilms für die Lithographie mit einem Aliphatischen Ring und einem Aromatischen Ring

EP2469338 Art B1 19. November 2014

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2469338
Aktenzeichen: EP10809900
Anmeldetag: 11. August 2010
Veröffentlichung: 19. November 2014
Erteilung: 19. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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