Verfahren und Vorrichtungen zum Ritzen einer Zeile in ein Dünnschichtmaterial Mithilfe eines Bündels von Laserimpulsen von Vorteilhafter Impulsform

EP2470325 Art A1 4. Juli 2012

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc., ESI-Pyrophotonics Lasers, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2470325
Aktenzeichen: EP10819257
Anmeldetag: 14. September 2010
Veröffentlichung: 4. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/00B23K26/0622B23K26/40B23K26/364B23K103/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Electro Scientific Industries, Inc.
ESI-Pyrophotonics Lasers, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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