Messmodul für Lasersystem

EP2470939 Art A1 4. Juli 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Laser Optics GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2470939
Aktenzeichen: EP10745271
Anmeldetag: 26. August 2010
Veröffentlichung: 4. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/12G02B27/14H01S3/097G01J4/04G03F7/20G02B27/28G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von