Verfahren zur Selbstassemblierung Elektrischer, Elektronischer oder Mikromechanischer Bauelemente auf einem Substrat

EP2471091 Art A2 4. Juli 2012

Anmelder: Evonik Degussa GmbH, Evonik Goldschmidt GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2471091
Aktenzeichen: EP10763177
Anmeldetag: 5. Oktober 2010
Veröffentlichung: 4. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Evonik Degussa GmbH
Evonik Goldschmidt GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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