Verfahren zur Reinigung der Oberfläche eines Siliziumsubstrats

EP2471111 Art B1 2. Oktober 2013

Anmelder: Ecole Polytechnique, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2471111
Aktenzeichen: EP10762742
Anmeldetag: 23. August 2010
Veröffentlichung: 2. Oktober 2013
Erteilung: 2. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/18C30B33/12C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ecole Polytechnique
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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