Aktive Spektrumssteuerung einer Optischen Quelle

EP2471150 Art B1 23. Januar 2019

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2471150
Aktenzeichen: EP10814059
Anmeldetag: 24. August 2010
Veröffentlichung: 23. Januar 2019
Erteilung: 23. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01S3/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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