Fotoresiste und Verwendungsverfahren dafür
EP2472327
Art A1
4. Juli 2012
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2472327
- Aktenzeichen
- EP11195276
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/40H01L21/266
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
2.601 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Buckley, Guy Julian
Bakewell, Großbritannien
4.077
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte