Beschichtungszusammensetzungen zur Verwendung mit einem beschichteten Fotolack
EP2472329
Art B1
5. Juni 2013
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2472329
- Aktenzeichen
- EP11195283
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2013
- Erteilung
- 5. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/09G03F7/11
Abstract
Organic coating compositions, particularly antireflective coating compositions, are provided that comprise that comprise a component that comprises one or more uracil moieties. Preferred compositions of the invention are useful to reduce reflection of exposing radiation from a substrate back into an overcoated photoresist layer and/or function as a planarizing, conformal or via-fill layer.
Anmelder
- Firma
- Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
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Vertreten von
Buckley, Guy Julian
Bakewell, Großbritannien
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