Diffusionsmittelzusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Unreinheitendiffusionsschicht

EP2472569 Art B1 3. Januar 2018

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2472569
Aktenzeichen
EP10811467
Anmeldetag
18. August 2010
Veröffentlichung
3. Januar 2018
Erteilung
3. Januar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/225H01L31/04H01L31/06H01L21/228
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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