Vorrichtung zur Wärmebehandlung

EP2472575 Art A3 27. Februar 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2472575
Aktenzeichen: EP11010201
Anmeldetag: 22. Dezember 2011
Veröffentlichung: 27. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/458C23C16/455H05B3/00H05B6/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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