Eindeutige Markierung und Verfahren zur Bestimmung Kritischer Dimensionsgleichförmigkeiten und zur Erfassung von Fadenkreuzen in Kombination mit einer Wafer-Overlay-Möglichkeit
EP2474024
Art A2
11. Juli 2012
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2474024
- Aktenzeichen
- EP10812730
- Anmeldetag
- 31. August 2010
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F1/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Lukaszyk, Szymon
Kancelaria Patentowa LukaszykNone