Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung der Ausrichtung eines Substrats

EP2474212 Art B1 18. Februar 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2474212
Aktenzeichen
EP10751646
Anmeldetag
2. September 2010
Veröffentlichung
18. Februar 2015
Erteilung
18. Februar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H05K3/12H01L31/0224H01L21/677H01L31/18H01L21/68H05K1/02H05K3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Kanzlei
GLP S.R.L Udine, Italien

GLP wurde 1967 von Gilberto Luigi Petraz in Udine gegründet und wird heute von seinen Söhnen geleitet, mit weiteren Standorten in Mailand, Perugia, San Marino und Zürich. Das Financial Times Statista Ranking stufte GLP wiederholt in die „Gold“-Kategorie ein, über mehrere technische Bereiche hinweg.

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