Zyklische Verbindung, Herstellungsverfahren für die Zyklische Verbindung, Strahlungsempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur

EP2474518 Art A1 11. Juli 2012

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2474518
Aktenzeichen: EP10812006
Anmeldetag: 27. August 2010
Veröffentlichung: 11. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C07C39/17C07C37/18G03F7/004G03F7/038H01L21/027C07B61/00C07C37/20C07C41/01C07C41/16C07C43/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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