Zyklische Verbindung, Herstellungsverfahren für die Zyklische Verbindung, Strahlungsempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur

EP2474538 Art B1 25. Januar 2017

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2474538
Aktenzeichen: EP10811965
Anmeldetag: 26. August 2010
Veröffentlichung: 25. Januar 2017
Erteilung: 25. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C07D303/26G03F7/004G03F7/038H01L21/027C07C39/15C07C39/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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