Methode für die direkte Abscheidung von Germaniumschichten

EP2474643 Art B1 6. Januar 2016

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2474643
Aktenzeichen: EP11150559
Anmeldetag: 11. Januar 2011
Veröffentlichung: 6. Januar 2016
Erteilung: 6. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/22H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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