Beschichtungsmaterialzusammensetzung für eine Flüssigkeits-Immersionsentwicklungsvorrichtung, Laminat, Verfahren zur Formung des Laminats und Flüssigkeits-Immersionsentwicklungsvorrichtung

EP2474998 Art A1 11. Juli 2012

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2474998
Aktenzeichen
EP10813731
Anmeldetag
1. September 2010
Veröffentlichung
11. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Asahi Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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