Lpp-Euv-Lichtquelle und Herstellungsverfahren dafür

EP2475228 Art A1 11. Juli 2012

Anmelder: IHI Corporation, Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2475228
Aktenzeichen: EP10813666
Anmeldetag: 27. August 2010
Veröffentlichung: 11. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IHI Corporation
Tokyo Institute of Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

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🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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