Verfahren zur Bearbeitung und/oder Analyse einer Probe mit einem Teilchenstrahlgerät

EP2477206 Art B1 6. März 2019

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2477206
Aktenzeichen
EP12150894
Anmeldetag
12. Januar 2012
Veröffentlichung
6. März 2019
Erteilung
6. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20H01J37/305H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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