Vorrichtung zur Emission von Vakuum-Ultraviolett-Licht

EP2477210 Art A1 18. Juli 2012

Anmelder: National University Corporation Nagoya Institute of Technology, Tokuyama Corporation, Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2477210
Aktenzeichen
EP10813827
Anmeldetag
6. September 2010
Veröffentlichung
18. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J63/06H01J61/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National University Corporation Nagoya Institute of Technology
Tokuyama Corporation
Tohoku University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

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🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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