Verfahren und Vorrichtung zur Lokalen Abscheidung eines Materials auf einem Substrat

EP2477822 Art A1 25. Juli 2012

Anmelder: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2477822
Aktenzeichen
EP10752817
Anmeldetag
14. September 2010
Veröffentlichung
25. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
B41M5/382C23C14/56H01L51/00H01L51/56H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Adler, Peter Dresden, Deutschland
55
Patente gesamt
20
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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