Verfahren zur Messung einer Form einer Optischen Fläche

EP2478328 Art B1 27. Juli 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2478328
Aktenzeichen: EP09778606
Anmeldetag: 18. September 2009
Veröffentlichung: 27. Juli 2016
Erteilung: 27. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01B11/24G02B26/06G01M11/02G01M11/00G02B3/02G02B5/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von