Spektralreinigungsfilter, Lithografiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Spektralreinigungsfilters und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit dem Lithografiegerät
EP2478416
Art A2
25. Juli 2012
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2478416
- Aktenzeichen
- EP10735023
- Anmeldetag
- 29. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G21K1/06G02B5/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML Netherlands
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
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Fachgebiete
Vertreten von
Siem, Max Yoe Shé
Amsterdam, Niederlande
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Patente gesamt
19
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte